氮气发生器目前在制氮、制氧领域内使用较多的是碳分子筛和沸石分子筛。氮气发生器分子筛对氧和氮的分离作用主要是基于这两种气体在分子筛表面的扩散速率不同，碳分子筛是一种兼具活性炭和分子筛某些特性的碳基吸附剂。碳分子筛具有很小微孔组成，氮气发生器孔径分布在0.3nm ~ 1nm之间。较小直径的气体(氧气)扩散较快，较多进入分子筛固相，这样气相中就可以得到氮的富集成分。一段时间后，分子筛对氧的吸附达到平衡，氮气发生器根据碳分子筛在不同压力下对吸附气体的吸附量不同的特性，降低压力使碳分子筛解除对氧的吸附，这一过程称为再生。变压吸附法通常使用两塔并联，交替进行加压吸附和解压再生，从而获得连续的氮气流。

　　一、氮气发生器使用方法

　　1、接通电源，将氮气发生器出气口与质谱进气口用管路连接好，打开氮气发生器显示屏上的开关(注意将氮气发生器后面的阀门打开)；

　　2、注意观察氮气发生器出气口压力和氮气纯度，出气口压力一般在7bar左右，氮气纯度要大于99%；

　　3、质谱使用结束后，待Desolvation Temp降至60°C以下，再关掉API GAS；

　　4、zui后关氮气发生器。

　　二、氮气发生器操作规程

　　开机前的准备工作

　　1、清除机器附近的杂物，保证设备通风良好，打扫操作现场，符合6S要求，保持环境整洁和安全。

　　2、检查压缩空气管路，将压缩空气出口压力调至0.6~0.8MPa。

　　3、检查机器的各连接部位，不应有松动，管路良好。

　　4、检查电源线是否接通。

　　开机及停机

　　1.打开总电源；

　　2.启动冷干机；

　　3.待冷干机启动十分钟后，打开压缩空气进气阀门；

　　4.打开制氮机出气球阀；

　　5.将制氮机电源开关“POWER”从“OFF”转到“ON”的位置，准备启动制氮机。电源指示灯（绿色）会亮起；

　　6.按下运行开关中的“STAR”按钮，制氮机开始运作，并发出排气通风声；

　　7.观察制氮机运转3分钟，检查管路接头有无漏气；

　　8.缓冲容器压力表的度数与吸附塔压力表显示额空气进气压力相差小于1bar（14psig）；

　　9.氮气分析仪显示的氮气纯度会不断上升，报警灯会自动闪烁，蜂鸣器会闪鸣，直到产出的气体的纯度达到预先设定值时，纯度指示灯由红色变为绿色，制氮机由预热状态转到正常运行状态，合格的氮气从制氮机出气口排出；

　　10.关闭程序